LL-HS-DS 熱式氣體質量流量控制器

一、產品簡介：

       質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精 密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、 環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝 設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔 煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

二、主要技術指標：

注意：
質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N?)標定。
質量流量的單位規定為:SCCM (標準毫升/分); SLM (標準升/分)。
標準狀態規定為：
溫度-----298.15K (25℃);
氣壓-----101325 Pa （760mmHg）
F. S (Full Scale); 滿量程值

三、工作原理：

LL-HS/DS 系列氣體質量流量控制器卓越的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的 傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度 及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測 量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的 原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金 RTD 絲纏繞在堅固 的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在 316 不銹鋼包裝殼內。

四、一般異常情況判斷和處理：