LL-RS10FD數(shù)字型熱式氣體質(zhì)量流量控制器
一、儀表概述：
LL質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
二、測量原理：
LL-RS10FD系列氣體質(zhì)量流量控制器精度較高、堅固性源于我公司獨(dú)特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。
三、性能特點(diǎn)：
| 1 | 量程范圍 |
（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10,50,100,200,500...） SLM |
| 2 | 準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S |
| 3 | 線性 | ±0.5~1.5%F.S |
| 4 | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
| 5 | 響應(yīng)時間 | 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec |
| 6 | 工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
| 7 | 耐壓 | 3MPa |
| 8 | 工作環(huán)境溫度 | 0~70℃ |
| 9 | 數(shù)字量 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
| 10 | 模擬量 | DC 0~5V ，4~20mA 可選 |
| 11 | 供電 | DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA |
| 12 | 電氣連接 | DB15 |
| 13 | 漏率 | 1×10 -8SCCSHe |
| 14 | 底座材質(zhì) | 316L不銹鋼 |
| 15 | 密封材質(zhì) | 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠 |
| 16 | 氣路接頭 | Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 |
注意：
質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮?dú)?N?)標(biāo)定。質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：SCCM （標(biāo)準(zhǔn)毫升/分）； SLM （標(biāo)準(zhǔn)升/分）。
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為： 溫度-----273.15K (0℃)；
氣壓-----101325 Pa （760mm Hg）。
F.S (Full Scale)： 滿量程值
